光刻机零部件：福晶科技、奥普光电、茂莱光学、福光股份、炬光科技、腾景科技、苏大维格;
光刻机周边配套：美埃科技、蓝英装备、芯源微、微导纳米;
光刻机相关材料：华懋科技、彤程新材、清溢光电。
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