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光刻机概念股龙头有哪些
上海微电：光刻机整机研制和系统集成（未上市） 上海微电子是新型光刻机的总体牵头单位和总装集成单位，2017年4月公司承担的02专项浸没式光刻机关键技术预研项目通过验收，目前正承担28nm节点浸没式分步重复投影光刻机研发任务。 华卓精科：浸没式超精密双工件台（未上市） 华卓精科由清华IC装备团队成立，近期正在筹备科创板上市。按公司官网介绍，公司的核心战略产品光刻机双工件台，打破了ASML的技术垄断，…- 105
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